Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях / : Учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова.
Material type:
- 9785996300327
Item type | Current library | Collection | Call number | Status | Notes | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
Fundamental Scientific Library | General | PII/655705 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 30 Days Loan | FL0187230 |
Библиогр.: с. 275-280
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.