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Ulm M., . (2003). Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich. Stuttgart: Inst. für Halbleitertechnik.
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Ulm Markus, . 2003. Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich. Stuttgart: Inst. für Halbleitertechnik.
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Ulm M., . (2003). Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich. Stuttgart: Inst. für Halbleitertechnik.
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Ulm Markus, . Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich. Stuttgart: Inst. für Halbleitertechnik. 2003.