TY - SER ED - Российская Академия наук ED - Физико-технологический институт РАН TI - Микроэлектроника SN - 0544-1269 PY - 1972///- CY - Москва PB - Наука KW - Ամսագիր N1 - http://www.maik.ru/cgi-bin/search.pl?type=contents&name=micelec&year=&number=&volume=&submit.x=50&submit.y=7 UR - http://www.maik.ru/cgi-bin/journal.pl?name=micelec&page=main ER -