TY  - BOOK
AU  - ÐÐ°Ð½Ð½ÐµÑ,ÐÐ¶
AU  - ÐÐ¾Ð¼Ð¸Ñ,Ð.
AU  - ÐÐ°ÑÐµÐ²ÐµÐ½Ð¸Ñ,Ð.
AU  - ÐÐ¸ÐºÐ¾Ð»Ð°ÐµÐ²,Ð.Ð.
AU  - Ð¢ÐµÐ¿Ð»Ð¸ÑÐºÐ¸Ð¹,Ð.Ð.
AU  - ÐÐ¾ÑÐµÐ½ÐºÐ¾Ð²,ÐÐ³Ð¾ÑÑ ÐÐµÑÑÐ¾Ð²Ð¸Ñ
TI  - Ð­Ð»ÐµÐºÑÑÐ¾Ð½Ð¸ÐºÐ° Ð¡ÐÐÐ¡: ÐÑÐ¾ÐµÐºÑÐ¸ÑÐ¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ðµ Ð¼Ð¸ÐºÑÐ¾ÑÑÑÑÐºÑÑÑ 
SN  - 5030004777
PY  - 1989///
CY  - ÐÐ¾ÑÐºÐ²Ð°
PB  - ÐÐ¸Ñ
KW  - ÐÐ¸ÐºÑÐ¾ÑÐ»ÐµÐºÑÑÐ¾Ð½Ð½ÑÐµ ÑÑÐµÐ¼Ñ Ð¸Ð½ÑÐµÐ³ÑÐ°Ð»ÑÐ½ÑÐµ ÑÐ²ÐµÑÑÐ±Ð¾Ð»ÑÑÐ¸Ðµ
KW  - ÐÑÐ¾ÐµÐºÑÐ¸ÑÐ¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ðµ
N1  - ÐÐ²Ñ. ÑÐºÐ°Ð·Ð°Ð½Ñ Ð½Ð° Ð¾Ð±Ð¾ÑÐ¾ÑÐµ ÑÐ¸Ñ. Ð»; ÐÐ¸Ð±Ð»Ð¸Ð¾Ð³Ñ. Ð² ÐºÐ¾Ð½ÑÐµ Ð³Ð»Ð°Ð²; ÐÑÐ¸Ð³Ð¸Ð½Ð°Ð» Ð½Ð° Ð°Ð½Ð³Ð».; VLSI Electronics Microstructure Science; Norman G. Einspruch -; Orlando : Academic Press, Inc. : 1986
ER  -