TY - BOOK AU - Миттова,Ирина Яковлевна AU - Маршаков,И.К. TI - Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей PY - 1987/// CY - Воронеж PB - Изд-во Воронеж. ун-та KW - Термическое окисление кремния ER -