TY - BOOK AU - Фреик,Дмитрий Михайлович AU - Галущак,Марьян Алексеевич AU - Межиловская,Любовь Иосифовна TI - Физика и технология полупроводниковых пленок SN - 5110005419 PY - 1988/// CY - Львов PB - Вища шк. KW - Полупроводниковые пленки KW - Физика N1 - Библиогр.: с. 143-150 (179 назв.) ER -