Распыление твердых тел ионной бомбардировкой : Физическое распыление одноэлементных твердых тел /
Sputtering by Particle Bombardment
[Р. Бериш, П. Зигмунд, М. Робинсон и др.] ; Под ред. Р. Бериша ; Пер. В.А. Молчанов
- Москва : Мир, 1984.
- выпуск
- Проблемы прикладной физики .
Авт. указаны в огл.
Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности Вып. 1 (1984 ; 336 с.) : Вып. 2 (1986 ; 486 с.) :
Перевод изд.: Sputtering by particle bombardment. 1 / With contributions by H. H. Andersen, H. Z. Bay, R. Behrisch et. al. (Berlin etc., 1981)