Оптические методы контроля интегральных микросхем :  Состояние и перспективы совершенствования / 
Под ред. Л.Г. Дубицкого. 
 - Москва :  Радио и связь,  1982. 
 - 136 с. :  ил. 
 - Массовая библиотека инженера "Электроника"  Вып. 32 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 126-133 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Технический контроль<br/>Технический контроль--Микроэлектронные схемы интегральные--Производство