TY - BOOK AU - Кузнецов,Ф.А. ED - Симпозиум по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок TI - V симпозиум по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок: Тезисы докладов, г. Новосибирск, 6-8 июня 1978 г. PY - 1978/// CY - Новосибирск PB - Б. и. KW - Общетехнические дисциплины ER -