TY - BOOK AU - Палатник,Лев Самойлович AU - Сорокин,Вадим Константинович TI - Материаловедение в микроэлектронике PY - 1978/// CY - Москва PB - Энергия KW - Материаловедение в области микроэлектроники N1 - Библиогр.: с. 268 - 278 ER -