Палатник, Лев Самойлович <br/><br/>
Материаловедение в микроэлектронике / 
Л.С. Палатник, В.К. Сорокин. 
 - Москва :  Энергия,  1978. 
 - 278 с. :  ил. 
 - Электронное материаловедение .
<br/><br/>Библиогр.: с. 268 - 278 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Материаловедение в области микроэлектроники