TY - BOOK AU - Риссел,Х. AU - Руге,И. AU - Климов,В.В. AU - Пальянов,В.Н. AU - Гусева,М.И. TI - Ионная имплантация: Пер. с нем. PY - 1983/// CY - Москва PB - Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит. KW - Легирование ионное KW - Полупроводники ER -