Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / 
Ф.Ф. Комаров, А.П. Новиков, В.С. Соловьев, С.Ю. Ширяев. 
 - Минск :  Университетское,  1990. 
 - 319 с., [8] л. ил. :  ил. ;  22 см. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 293-318 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5785501929 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Кремний--Дефекты