TY  - BOOK
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SN  - 5030001301
PY  - 1988///
CY  - ÐÐ¾ÑÐºÐ²Ð°
PB  - ÐÐ¸Ñ
KW  - ÐÐ°Ð»Ð»Ð¸Ð¹, Ð°ÑÑÐµÐ½Ð¸Ð´ - ÐÐ¾Ð»ÑÐ¿ÑÐ¾Ð²Ð¾Ð´Ð½Ð¸ÐºÐ¾Ð²ÑÐµ ÑÐ²Ð¾Ð¹ÑÑÐ²Ð°
KW  - ÐÐ¸ÐºÑÐ¾ÑÐ»ÐµÐºÑÑÐ¾Ð½Ð½ÑÐµ ÑÑÐµÐ¼Ñ
N1  - ÐÐ¸Ð±Ð»Ð¸Ð¾Ð³Ñ. Ð² ÐºÐ¾Ð½ÑÐµ Ð³Ð»Ð°Ð²; ÐÑÐ¸Ð³Ð¸Ð½Ð°Ð» Ð½Ð° Ð°Ð½Ð³Ð».; VLSI Electronics Microstructure Science; Edt. Norman G. Einspruch -; Orlando : Academic Press, Inc. : 1985
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