TY - BOOK AU - Васичев,Борис Никитович TI - Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок PY - 1977/// CY - Москва PB - Металлургия KW - Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника N1 - Список лит. с. 236-239 ER -