Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике / 
А.И. Борисенко, В.В. Новиков, Н.Е. Приходько и др.; АН СССР, Ин-т химии силикатов им. Гребенщикова. 
 - Ленинград :  Наука. Ленингр. отд-ние,  1972. 
 - 115 с. :  рис. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 107 - 113 (108 назв.). 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Пленки в микроэлектронике