Корзо, Виктор Федорович Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В.Ф. Корзо, В.Н. Черняев. - Москва : Энергия, 1977. - 368 с. : ил. - Электронное материаловедение . Subjects--Topical Terms: Микроэлектроника