Данилин, Б.С. <br/><br/>
Получение тонкопленочных элементов микросхем / 
Б.С. Данилин; Ред. В.С. Харламов. 
 - Москва, :  Электроника,  1977. 
 - 136 с. :  ил. 
 - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры  Вып. 10 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 128-134 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микросхемы