Материаловедение в микроэлектронике /
Палатник, Лев Самойлович
Материаловедение в микроэлектронике / Л.С. Палатник, В.К. Сорокин. - Москва : Энергия, 1978. - 278 с. : ил. - Электронное материаловедение .
Библиогр.: с. 268 - 278
Материаловедение в области микроэлектроники
Материаловедение в микроэлектронике / Л.С. Палатник, В.К. Сорокин. - Москва : Энергия, 1978. - 278 с. : ил. - Электронное материаловедение .
Библиогр.: с. 268 - 278
Материаловедение в области микроэлектроники