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Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich : Abhandlung /

Ulm, Markus

Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich : Abhandlung / Markus Ulm. - Stuttgart : Inst. für Halbleitertechnik, 2003. - xii, 130, xxviii p. ill.

Bibliogr.: p. xix-xxviii

Subjects--Index Terms: Electrotechnics

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